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太陽能電池片(鍍膜)PECVD石墨舟的作用是什么?

發布時間:2020-10-21 點擊次數:7501

石墨舟作為鍍膜工藝生產時正常硅片的我載體,結構中有很多具有一定間隔的舟片,而在兩個相鄰舟片之間有一個距離很窄的空間,空門兩側則放置硅片。

因石墨舟的材料石墨具有良好的導電和導熱性能,在兩個相鄰舟片間通交流電壓,使得兩個相鄰舟片形成正負極,當在腔室中有一定的氣壓和氣體時,在兩個舟片之間就發生輝光放電,輝光放電可分解空間中的引SiH4和NH3氣體,形成Si和N的離子,相結合形成SiNx分子,沉積在硅片表面,達到其鍍膜目的。


石墨舟作為太陽能電池片鍍減反射膜時的一種載體,其結構和大小直接影響硅片的轉化效率和生產效率,經過多年的技術研究和發展,我司現擁有先進的生產設備、技術成熟的設計人員和經驗豐富的生產員工,且材料均為進口原料,目前我司所制造的石墨舟具有結構簡單、石墨舟片距離合理,使得硅片的鍍膜均勻、提高硅片的品質,使得太陽能轉化效率高。石金公司有現在市場需要的所有類型石墨舟

石墨舟


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